(19)
(11) EP 2 193 403 A1

(12)

(43) Date de publication:
09.06.2010  Bulletin  2010/23

(21) Numéro de dépôt: 08787562.1

(22) Date de dépôt:  28.08.2008
(51) Int. Cl.: 
G03F 7/20(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2008/061340
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2009/027487 (05.03.2009 Gazette  2009/10)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Etats d'extension désignés:
AL BA MK RS

(30) Priorité: 31.08.2007 FR 0706130

(71) Demandeur: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
75015 Paris (FR)

(72) Inventeur:
  • MARTINEZ, Christophe
    F-38100 Grenoble (FR)

(74) Mandataire: Guérin, Michel 
Marks & Clerk France Conseils en Propriété Industrielle Immeuble " Visium " 22, avenue Aristide Briand
94117 Arcueil Cedex
94117 Arcueil Cedex (FR)

   


(54) PROCEDE DE LITHOGRAPHIE D'UNE IMAGE PAR ECRITURE DIRECTE CONTINUE