(19)

(11)

EP 2 193 548 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 24.09.2009 (43) Veröffentlichungstag: 09.06.2010  Patentblatt  2010/23 (21) Anmeldenummer: 08785710.8 (22) Anmeldetag:  27.08.2008

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 31/0224(2006.01) B41F 15/08(2006.01) H01L 23/482(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2008/007008 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2009/030409 (12.03.2009 Gazette  2009/11)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA MK RS (30) Priorität: 29.08.2007 DE 102007041057 (71) Anmelder: Manz Automation AG 72768 Reutlingen (DE)	(72) Erfinder: METZNER, Klaus 73266 Bissingen-Teck (DE) (74) Vertreter: Kohler Schmid Möbus  Patentanwälte Kaiserstrasse 85 72764 Reutlingen 72764 Reutlingen (DE)