(19)

(11)

EP 2 195 472 A1

(12)

(43) Date de publication: 16.06.2010  Bulletin  2010/24 (21) Numéro de dépôt: 08837638.9 (22) Date de dépôt:  16.09.2008

(51) Int. Cl.:  C23C 16/511(2006.01) H01J 37/32(2006.01) H05H 1/46(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2008/051660 (87) Numéro de publication internationale: WO 2009/047442 (16.04.2009 Gazette  2009/16)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Etats d'extension désignés: AL BA MK RS (30) Priorité: 20.09.2007 FR 0757720 (71) Demandeur: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 75007 Paris (FR)	(72) Inventeurs: ROSTAING, Jean-Christophe F-78000 Versailles (FR) GUERIN, Daniel F-77500 Chelles (FR) NOEL, Frédéric F-45140 Saint Jean de la Ruelle (FR) DANIEL, Hélène F-78150 Le Chesnay (FR) (74) Mandataire: Mellul-Bendelac, Sylvie Lisette  L'Air Liquide, Service Propriété Industrielle, 75, Quai d'Orsay 75321 Paris Cedex 07 75321 Paris Cedex 07 (FR)