(19)
(11) EP 2 195 835 A1

(12)

(43) Date de publication:
16.06.2010  Bulletin  2010/24

(21) Numéro de dépôt: 08869784.2

(22) Date de dépôt:  10.10.2008
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/762(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2008/001427
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2009/087290 (16.07.2009 Gazette  2009/29)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Etats d'extension désignés:
AL BA MK RS

(30) Priorité: 12.10.2007 FR 0758282

(71) Demandeur: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
75015 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • RABAROT, Marc
    F-38120 Saint-Egrève (FR)
  • DUBARRY, Christophe
    F-38640 Claix (FR)
  • MOULET, Jean-Sébastien
    F-38000 Grenoble (FR)
  • TAUZIN, Aurélie
    F-38120 Saint Egrève (FR)

(74) Mandataire: Quantin, Bruno Marie Henri 
Santarelli 14 Avenue de la Grande Armée B.P. 237
75822 Paris Cedex 17
75822 Paris Cedex 17 (FR)

   


(54) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE STRUCTURE MICRO-ÉLECTRONIQUE IMPLIQUANT UN COLLAGE MOLÉCULAIRE