(19)
(11) EP 2 198 447 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
28.05.2009

(43) Veröffentlichungstag:
23.06.2010  Patentblatt  2010/25

(21) Anmeldenummer: 08801174.7

(22) Anmeldetag:  14.08.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 37/32(2006.01)
C23C 16/455(2006.01)
C23C 16/04(2006.01)
B29C 59/14(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2008/001351
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/036722 (26.03.2009 Gazette  2009/13)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS

(30) Priorität: 21.09.2007 DE 102007045216

(71) Anmelder: KHS Corpoplast GmbH & Co. KG
20539 Hamburg (DE)

(72) Erfinder:
  • SIEBELS, Sönke
    22303 Hamburg (DE)
  • KYTZIA, Sebastian
    22301 Hamburg (DE)
  • MÜLLER, Hartwig
    22952 Lütjensee (DE)
  • TIETZ, Felix
    22299 Hamburg (DE)

(74) Vertreter: Klickow, Hans-Henning 
Patentanwälte Hansmann-Klickow-Hansmann Jessenstrasse 4
22767 Hamburg
22767 Hamburg (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUR PLASMABEHANDLUNG VON WERKSTÜCKEN