(19)

(11)

EP 2 198 452 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 23.06.2010  Patentblatt  2010/25 (21) Anmeldenummer: 08801447.7 (22) Anmeldetag:  04.06.2008

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/50(2006.01) H01L 23/538(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2008/004467 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2009/003565 (08.01.2009 Gazette  2009/02)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA MK RS (30) Priorität: 29.06.2007 DE 102007030284 (71) Anmelder: Schott AG 55122 Mainz (DE)	(72) Erfinder: LEIB, Jürgen Singapore 269196 (DE) (74) Vertreter: Herden, Andreas F.  Blumbach - Zinngrebe PatentConsult Patentanwälte Alexandrastrasse 5 65187 Wiesbaden 65187 Wiesbaden (DE)