(19)
(11) EP 2 198 469 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
23.06.2010  Patentblatt  2010/25

(21) Anmeldenummer: 08786308.0

(22) Anmeldetag:  22.07.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 41/053(2006.01)
 F02M 51/06(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2008/059572
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/033866 (19.03.2009 Gazette  2009/12)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS

(30) Priorität: 06.09.2007 DE 102007042400

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHLEGL, Nicole
    73635 Rudersberg (DE)

   


(54) PIEZOAKTORMODUL MIT EINEM SCHUTZSCHICHTSYSTEM UND EIN VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG