(19)
(11) EP 2 198 668 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
23.06.2010  Patentblatt  2010/25

(21) Anmeldenummer: 08802533.3

(22) Anmeldetag:  23.09.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H05B 3/00(2006.01)
C23C 16/48(2006.01)
C23C 14/54(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2008/008045
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/049752 (23.04.2009 Gazette  2009/17)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS

(30) Priorität: 09.10.2007 DE 102007048564

(71) Anmelder: Heraeus Noblelight GmbH
63450 Hanau (DE)

(72) Erfinder:
  • LINOW, Sven
    64285 Darmstadt (DE)

(74) Vertreter: Kühn, Hans-Christian 
Heraeus Holding GmbH, Stabsstelle Schutzrechte Heraeusstrasse 12-14
63450 Hanau
63450 Hanau (DE)

   


(54) VORRICHTUNG FÜR EINE BESTRAHLUNGSEINHEIT