(19)

(11)

EP 2 201 598 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 30.06.2010  Patentblatt  2010/26 (21) Anmeldenummer: 08785186.1 (22) Anmeldetag:  29.07.2008

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/20(2006.01) H01L 21/36(2006.01) H01L 21/208(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2008/006239 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2009/052878 (30.04.2009 Gazette  2009/18)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA MK RS (30) Priorität: 18.10.2007 DE 102007050288 (71) Anmelder: Dritte Patentportfolio Beteiligungsgesellschaft mbH & Co. KG 12529 Schönefeld/OT Waltersdorf (DE)	(72) Erfinder: FREY, Hartmut 73730 Esslingen (DE) HAUSER, Otto 73732 Esslingen (DE) (74) Vertreter: Zech, Stefan Markus et al Meissner, Bolte & Partner GbR Postfach 86 06 24 81633 München 81633 München (DE)