(19)
(11) EP 2 203 248 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
07.07.2010  Patentblatt  2010/27

(21) Anmeldenummer: 08840408.2

(22) Anmeldetag:  17.10.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B01J 19/12(2006.01)
C30B 13/00(2006.01)
C01B 33/025(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2008/064034
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/050264 (23.04.2009 Gazette  2009/17)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS

(30) Priorität: 17.10.2007 DE 102007050010

(71) Anmelder: Mai, Jan-Philipp
38106 Braunschweig (DE)

(72) Erfinder:
  • Mai, Jan-Philipp
    38106 Braunschweig (DE)

(74) Vertreter: Ahrens, Gabriele 
Patentanwälte Einsel & Kollegen Jasperallee 1A
38102 Braunschweig
38102 Braunschweig (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON SILIZIUM