(19)
(11)
EP 2 203 248 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
07.07.2010
Patentblatt 2010/27
(21)
Anmeldenummer:
08840408.2
(22)
Anmeldetag:
17.10.2008
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
B01J
19/12
(2006.01)
C30B
13/00
(2006.01)
C01B
33/025
(2006.01)
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2008/064034
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/050264
(
23.04.2009
Gazette 2009/17)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS
(30)
Priorität:
17.10.2007
DE 102007050010
(71)
Anmelder:
Mai, Jan-Philipp
38106 Braunschweig (DE)
(72)
Erfinder:
Mai, Jan-Philipp
38106 Braunschweig (DE)
(74)
Vertreter:
Ahrens, Gabriele
Patentanwälte Einsel & Kollegen Jasperallee 1A
38102 Braunschweig
38102 Braunschweig (DE)
(54)
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON SILIZIUM