(19)
(11) EP 2 205 983 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
09.07.2009

(43) Veröffentlichungstag:
14.07.2010  Patentblatt  2010/28

(21) Anmeldenummer: 08804851.7

(22) Anmeldetag:  29.09.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01P 15/08(2006.01)
G01C 19/56(2006.01)
 G01P 15/125(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2008/062989
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/056413 (07.05.2009 Gazette  2009/19)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS

(30) Priorität: 30.10.2007 DE 102007051871

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • TEBJE, Lars
    72770 Reutlingen (DE)
  • BENNINI, Fouad
    72762 Reutlingen (DE)
  • FUERST, Wolfgang
    72766 Reutlingen (DE)

   


(54) MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT UND VERFAHREN ZUM BETRIEB EINES MIKROMECHANISCHEN BAUELEMENTS