(19)
(11) EP 2 206 170 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.07.2010  Patentblatt  2010/28

(21) Anmeldenummer: 08844628.1

(22) Anmeldetag:  20.10.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 51/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2008/064110
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/056462 (07.05.2009 Gazette  2009/19)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS

(30) Priorität: 01.11.2007 DE 102007052522

(71) Anmelder: H.C. Starck Clevios GmbH
38642 Goslar (DE)

(72) Erfinder:
  • MEYER-FRIEDRICHSEN, Timo
    47829 Krefeld (DE)
  • GUNTERMANN, Udo
    47800 Krefeld (DE)

(74) Vertreter: Herzog, Martin et al
Herzog Fiesser & Partner Immermannstraße 59
D-40210 Düsseldorf
D-40210 Düsseldorf (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR BESCHICHTUNG VON UNPOLAREN POLYAROMATEN ENTHALTENDEN SCHICHTEN