(19)

(11)

EP 2 208 033 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 03.12.2009 (43) Veröffentlichungstag: 21.07.2010  Patentblatt  2010/29 (21) Anmeldenummer: 09715284.7 (22) Anmeldetag:  25.02.2009

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01J 3/28(2006.01) G01J 3/51(2006.01) H01L 27/146(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2009/001346 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2009/106316 (03.09.2009 Gazette  2009/36)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA RS (30) Priorität: 29.02.2008 DE 102008011793 (60) Teilanmeldung: 10164790.7 (71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 80686 München (DE)	(72) Erfinder: WEBER, Norbert 91367 Weissenohe (DE) JUNGER, Stephan 91088 Bubenreuth (DE) TSCHEKALINSKIJ, Wladimir 90429 Nürnberg (DE) (74) Vertreter: Schenk, Markus  Schoppe, Zimmermann, Stöckeler Zinkler & Partner Postfach 246 82043 Pullach 82043 Pullach (DE)