(57) Die Erfindung betrifft einen Strahlgenerator zur Erzeugung eines gebündelten Plasmastrahls
durch Lichtbogenentladung unter Zufuhr eines Arbeitsgases umfassend eine Stiftelektrode,
einen konzentrisch zu der Stiftelektrode angeordneten hohlzylindrischen, gegenüber
der Stiftelektrode isolierten Mantel aus elektrisch leitendem Material, an dessen
einer Stirnseite eine ringförmige Elektrode angeordnet ist, die eine Düsenöffnung
begrenzt, deren Durchmesser kleiner als der Durchmesser des hohlzylindrischen Mantels
ist, der an der gegenüberliegender Stirnseite eine Zufuhr für das Arbeitsgas aufweist
sowie eine Spannungsquelle zum Anlegen einer Spannung zwischen Stift- und Ringelektrode,
wobei der Mantel und/oder die Ringelektrode geerdet sind. Um einen derartigen Strahlgenerator zu schaffen, der mit einer niedrigen Zünd- und
Betriebsspannung arbeitet, der weniger Verlustwärme erzeugt und damit die behandelten
Oberflächen weniger stark thermisch belastet und dessen Leistungsabgabe während des
Betriebs praktisch konstant ist, wir in dem Strahlgenerator ein asymmetrisches Wärmeprofil
zu erzeugt, wonach der Großteil der Verlustwärme erst an der Düsenöffnung freigesetzt
wird, während die Stiftelektrode thermisch lediglich außerordentlich gering belastet
wird. Zugleich wird der Widerstand zwischen der Stift- und Ringelektrode reduziert.
|

|