(19)
(11) EP 2 209 354 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
11.01.2012  Patentblatt  2012/02

(43) Veröffentlichungstag A2:
21.07.2010  Patentblatt  2010/29

(21) Anmeldenummer: 10150084.1

(22) Anmeldetag:  05.01.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H05H 1/34(2006.01)
H05H 1/48(2006.01)
H05H 1/24(2006.01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA RS

(30) Priorität: 14.01.2009 DE 102009004968
14.01.2009 DE 202009000537 U

(71) Anmelder: Reinhausen Plasma GmbH
93057 Regensburg (DE)

(72) Erfinder:
  • Bisges, Michael
    93161, Sinzing (DE)
  • Hartmann, Uwe
    32805, Horn-Bad Meinberg (DE)

(74) Vertreter: Reichert, Werner Franz et al
Reichert & Kollegen Bismarckplatz 8
93047 Regensburg
93047 Regensburg (DE)

   


(54) Strahlgenerator zur Erzeugung eines gebündelten Plasmastrahls


(57) Die Erfindung betrifft einen Strahlgenerator zur Erzeugung eines gebündelten Plasmastrahls durch Lichtbogenentladung unter Zufuhr eines Arbeitsgases umfassend eine Stiftelektrode, einen konzentrisch zu der Stiftelektrode angeordneten hohlzylindrischen, gegenüber der Stiftelektrode isolierten Mantel aus elektrisch leitendem Material, an dessen einer Stirnseite eine ringförmige Elektrode angeordnet ist, die eine Düsenöffnung begrenzt, deren Durchmesser kleiner als der Durchmesser des hohlzylindrischen Mantels ist, der an der gegenüberliegender Stirnseite eine Zufuhr für das Arbeitsgas aufweist sowie eine Spannungsquelle zum Anlegen einer Spannung zwischen Stift- und Ringelektrode, wobei der Mantel und/oder die Ringelektrode geerdet sind.
Um einen derartigen Strahlgenerator zu schaffen, der mit einer niedrigen Zünd- und Betriebsspannung arbeitet, der weniger Verlustwärme erzeugt und damit die behandelten Oberflächen weniger stark thermisch belastet und dessen Leistungsabgabe während des Betriebs praktisch konstant ist, wir in dem Strahlgenerator ein asymmetrisches Wärmeprofil zu erzeugt, wonach der Großteil der Verlustwärme erst an der Düsenöffnung freigesetzt wird, während die Stiftelektrode thermisch lediglich außerordentlich gering belastet wird. Zugleich wird der Widerstand zwischen der Stift- und Ringelektrode reduziert.







Recherchenbericht