(19)

(11)

EP 2 212 445 A1

(12)

(43) Date de publication: 04.08.2010  Bulletin  2010/31 (21) Numéro de dépôt: 08853775.8 (22) Date de dépôt:  03.11.2008

(51) Int. Cl.:  C23C 16/24(2006.01) C23C 16/40(2006.01) C23C 16/28(2006.01) H01L 31/18(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2008/051980 (87) Numéro de publication internationale: WO 2009/068769 (04.06.2009 Gazette  2009/23)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Etats d'extension désignés: AL BA MK RS (30) Priorité: 07.11.2007 FR 0758844 (71) Demandeur: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 75007 Paris (FR)	(72) Inventeurs: PINCHART, Audrey F-92160 Antony (FR) JAHAN, Denis F-92150 Suresnes (FR) (74) Mandataire: Grout de Beaufort, François-Xavier  L'Air Liquide Direction Propriété Intellectuelle 75, quai d'Orsay F-75321 Paris Cedex 07 F-75321 Paris Cedex 07 (FR)