(19)

(11)

EP 2 212 447 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 02.07.2009 (43) Veröffentlichungstag: 04.08.2010  Patentblatt  2010/31 (21) Anmeldenummer: 08846305.4 (22) Anmeldetag:  29.10.2008

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 18/50(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2008/064641 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2009/059915 (14.05.2009 Gazette  2009/20)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA MK RS (30) Priorität: 07.11.2007 DE 102007053457 (71) Anmelder: Nanogate AG 66287 Quierschied (DE)	(72) Erfinder: BRENNER, Frank 66129 Bübingen (DE) SANDER, Jürgen 66271 Kleinblittersdorf (DE) (74) Vertreter: von Kreisler Selting Werner  Deichmannhaus am Dom Bahnhofsvorplatz 1 50667 Köln 50667 Köln (DE)