(19)
(11) EP 2 212 900 A1

(12)

(43) Date de publication:
04.08.2010  Bulletin  2010/31

(21) Numéro de dépôt: 08853255.1

(22) Date de dépôt:  05.11.2008
(51) Int. Cl.: 
H01J 37/32(2006.01)
H05H 1/24(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2008/051997
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2009/068784 (04.06.2009 Gazette  2009/23)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Etats d'extension désignés:
AL BA MK RS

(30) Priorité: 21.11.2007 FR 0759201

(71) Demandeurs:
  • L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
    75007 Paris (FR)
  • Centre National de la Recherche Scientifique
    75794 Paris Cedex 16 (FR)

(72) Inventeurs:
  • MASSINES, Françoise
    F-66100 Perpignan (FR)
  • NAUDE, Nicolas
    F-31062 Toulouse Cedex 9 (FR)
  • JAHAN, Denis
    F-92150 Suresnes (FR)

(74) Mandataire: Grout de Beaufort, François-Xavier 
L'Air Liquide SA 75, quai d'Orsay
75321 Paris Cedex 07
75321 Paris Cedex 07 (FR)

   


(54) PROCEDE ET DISPOSITIF DE PRODUCTION D'UNE DECHARGE HOMOGENE SUR SUBSTRATS NON ISOLANTS