(19)

(11)

EP 2 212 901 A2

(12)

(88) Date de publication A3: 30.07.2009 (43) Date de publication: 04.08.2010  Bulletin  2010/31 (21) Numéro de dépôt: 08856396.0 (22) Date de dépôt:  21.11.2008

(51) Int. Cl.:  H01J 37/32(2006.01) H01L 21/68(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2008/052101 (87) Numéro de publication internationale: WO 2009/071815 (11.06.2009 Gazette  2009/24)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Etats d'extension désignés: AL BA MK RS (30) Priorité: 21.11.2007 FR 0759189 (71) Demandeur: Alcatel Lucent 75008 Paris (FR)	(72) Inventeur: MAQUIN, Philippe F-74009 Annecy (FR) (74) Mandataire: Sciaux, Edmond et al Alcatel Lucent 32 Avenue Kléber 92700 Colombes 92700 Colombes (FR)