(19)
(11) EP 2 215 668 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
11.08.2010  Patentblatt  2010/32

(21) Anmeldenummer: 08856710.2

(22) Anmeldetag:  13.11.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 41/047(2006.01)
H01L 41/24(2006.01)
 H01L 41/083(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2008/065474
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/071426 (11.06.2009 Gazette  2009/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS

(30) Priorität: 06.12.2007 DE 102007058873

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • GANSTER, Axel
    84419 Schwindegg (DE)
  • KORNELY, Susanne
    80689 München (DE)
  • SCHUH, Carsten
    85598 Baldham (DE)
  • ZAPF, Jörg
    81927 München (DE)
  • DENNELER, Stefan
    80687 München (DE)
  • WOLFF, Andreas
    81825 München (DE)

   


(54) PIEZOELEKTRISCHES BAUTEIL MIT AUSSENKONTAKTIERUNG, DIE EINE GASPHASEN-ABSCHEIDUNG AUFWEIST, VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DES BAUTEILS UND VERWENDUNG DES BAUTEILS