(19)
(11) EP 2 217 738 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
18.08.2010  Patentblatt  2010/33

(21) Anmeldenummer: 08854039.8

(22) Anmeldetag:  01.11.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/22(2006.01)
C23C 16/44(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2008/009233
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/068150 (04.06.2009 Gazette  2009/23)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS

(30) Priorität: 28.11.2007 DE 102007057644

(71) Anmelder: Oerlikon Trading AG, Trübbach
9477 Trübbach (CH)

(72) Erfinder:
  • ZÜND, Fredy
    CH-9443 Widnau (CH)
  • MAYER, Marco
    FL-9494 Schaan (LI)
  • KRASSNITZER, Siegfried
    A-6800 Feldkirch (AT)
  • GWEHENBERGER, Jürgen
    CH-7323 Wangs (CH)

(74) Vertreter: Kempkens, Anke 
Vordere Mühlgasse 187
D-86899 Landsberg a. Lech
D-86899 Landsberg a. Lech (DE)

   


(54) VAKUUMKAMMER AUF RAHMENBASIS FÜR BESCHICHTUNGSANLAGEN