(19)
(11) EP 2 218 122 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
18.08.2010  Patentblatt  2010/33

(21) Anmeldenummer: 08855145.2

(22) Anmeldetag:  03.11.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 51/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2008/064879
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/068415 (04.06.2009 Gazette  2009/23)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS

(30) Priorität: 28.11.2007 DE 102007057650

(71) Anmelder: H.C. Starck Clevios GmbH
38642 Goslar (DE)

(72) Erfinder:
  • ELSCHNER, Andreas
    45479 Mühlheim (DE)
  • LOEVENICH, Wilfried
    51469 Bergisch Gladbach (DE)
  • POLLOK, Kerstin
    46537 Dinslaken (DE)

(74) Vertreter: Herzog, Martin 
Herzog Fiesser & Partner Immermannstraße 59
D-40210 Düsseldorf
D-40210 Düsseldorf (DE)

   


(54) STRUKTURIERUNG VON LEITFÄHIGEN POLYMERSCHICHTEN MITTELS DES LIFT-OFF-PROZESSES