(19)
(11) EP 2 220 265 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.08.2010  Patentblatt  2010/34

(21) Anmeldenummer: 08856536.1

(22) Anmeldetag:  17.11.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/32(2006.01)
 C23C 14/50(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/CH2008/000485
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/070903 (11.06.2009 Gazette  2009/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS

(30) Priorität: 06.12.2007 CH 18902007

(71) Anmelder: Oerlikon Trading AG, Trübbach
9477 Trübbach (CH)

(72) Erfinder:
  • RAMM, Juergen
    CH-7304 Maienfeld (CH)
  • WOHLRAB, Christian
    A-6800 Feldkirch (AT)

(74) Vertreter: Wegmann, Urs 
Saschela 3
9479 Oberschan
9479 Oberschan (CH)

   


(54) PVD - VAKUUMBESCHICHTUNGSANLAGE