| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL
PT RO SE SI SK TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL BA MK RS |
| (30) |
Priorität: |
14.12.2007 DE 102007063558
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| (71) |
Anmelder: CIS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und
Photovoltaik GmbH |
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99099 Erfurt (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- RANGELOW, IvoW.
34225 Baunatal (DE)
- GERLACH, Gerald
01219 Dresden (DE)
- BARTUCH, Herbert
37085 Göttingen (DE)
- STEINKE, Arndt
99192 Ingersleben (DE)
- RÖDER, Ralf
99091 Erfurt (DE)
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| (74) |
Vertreter: Engel, Christoph Klaus et al |
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Engel Patentanwaltskanzlei
Marktplatz 6
98527 Suhl/Thüringen
98527 Suhl/Thüringen (DE) |
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