(19)
(11) EP 2 223 348 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
01.09.2010  Patentblatt  2010/35

(21) Anmeldenummer: 08864768.0

(22) Anmeldetag:  21.11.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 33/00(2010.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2008/001940
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/079969 (02.07.2009 Gazette  2009/27)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS

(30) Priorität: 20.12.2007 DE 102007061471
05.06.2008 DE 102008026839

(71) Anmelder: OSRAM Opto Semiconductors GmbH
93055 Regensburg (DE)

(72) Erfinder:
  • GROLIER, Vincent
    80639 München (DE)
  • PLÖSSL, Andreas
    93051 Regensburg (DE)

(74) Vertreter: Epping - Hermann - Fischer 
Patentanwaltsgesellschaft mbH Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES OPTOELEKTRONISCHEN BAUELEMENTES IN DÜNNSCHICHTTECHNIK