| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL
PT RO SE SI SK TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL BA MK RS |
| (30) |
Priorität: |
06.12.2007 DE 102007059533
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| (71) |
Anmelder: ThinXXS Microtechnology AG |
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66482 Zweibrücken (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- WEBER, Lutz
66424 Homburg (DE)
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| (74) |
Vertreter: Bernhardt, Reinold |
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Dr.-Ing. W. Bernhardt, Dr. R. Bernhardt Dipl.-Phys
Partnerschaft
Kobenhüttenweg 43 66123 Saarbrücken 66123 Saarbrücken (DE) |
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