(19)

(11)

EP 2 225 408 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 15.10.2009 (43) Veröffentlichungstag: 08.09.2010  Patentblatt  2010/36 (21) Anmeldenummer: 08853518.2 (22) Anmeldetag:  28.11.2008

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 18/50(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2008/066477 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2009/068674 (04.06.2009 Gazette  2009/23)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 30.11.2007 DE 102007058907 05.07.2008 DE 102008032498 (71) Anmelder: ElringKlinger AG 72581 Dettingen (DE)	(72) Erfinder: ZERFASS, Hans-Rainer 65232 Taunusstein (DE) KIEFER, Thomas 72574 Bad Urach (DE) TIETZ, Frank 52428 Jülich (DE) (74) Vertreter: Hoeger, Stellrecht & Partner Patentanwälte  Uhlandstrasse 14c 70182 Stuttgart 70182 Stuttgart (DE)