(19)
(11)
EP 2 225 531 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
08.09.2010
Patentblatt 2010/36
(21)
Anmeldenummer:
08864084.2
(22)
Anmeldetag:
19.12.2008
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
G01B
11/06
(2006.01)
G01N
21/21
(2006.01)
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2008/068040
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/080756
(
02.07.2009
Gazette 2009/27)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS
(30)
Priorität:
21.12.2007
DE 102007062052
(71)
Anmelder:
Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)
(72)
Erfinder:
GERHARD, Detlef
81829 München (DE)
(54)
SCHICHTDICKENMESSUNG AN TRANSPARENTEN SCHICHTEN