(19)
(11) EP 2 225 531 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
08.09.2010  Patentblatt  2010/36

(21) Anmeldenummer: 08864084.2

(22) Anmeldetag:  19.12.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01B 11/06(2006.01)
G01N 21/21(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2008/068040
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/080756 (02.07.2009 Gazette  2009/27)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS

(30) Priorität: 21.12.2007 DE 102007062052

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • GERHARD, Detlef
    81829 München (DE)

   


(54) SCHICHTDICKENMESSUNG AN TRANSPARENTEN SCHICHTEN