(19)

(11)

EP 2 232 532 A2

(12)

(88) Date de publication A3: 22.10.2009 (43) Date de publication: 29.09.2010  Bulletin  2010/39 (21) Numéro de dépôt: 08872521.3 (22) Date de dépôt:  23.12.2008

(51) Int. Cl.:  H01L 21/033(2006.01) H01L 21/308(2006.01) H01L 21/311(2006.01) H01L 21/3065(2006.01) H01L 21/3105(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2008/001820 (87) Numéro de publication internationale: WO 2009/103907 (27.08.2009 Gazette  2009/35)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Etats d'extension désignés: AL BA MK RS (30) Priorité: 03.01.2008 FR 0800035 (71) Demandeur: Centre National de la Recherche Scientifique 75016 Paris (FR)	(72) Inventeur: JALABERT, Laurent F-31660 Bessieres (FR) (74) Mandataire: Jacquard, Philippe Jean-Luc et al Cabinet ORES 36, rue de St Pétersbourg 75008 Paris 75008 Paris (FR)