(19)

(11)

EP 2 235 484 A2

(12)

(88) Date de publication A3: 29.10.2009 (43) Date de publication: 06.10.2010  Bulletin  2010/40 (21) Numéro de dépôt: 09720812.8 (22) Date de dépôt:  20.01.2009

(51) Int. Cl.:  G01J 3/26(2006.01) H01L 31/0232(2006.01) H01L 27/14(2006.01) G02B 5/28(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2009/000056 (87) Numéro de publication internationale: WO 2009/112680 (17.09.2009 Gazette  2009/38)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Etats d'extension désignés: AL BA RS (30) Priorité: 21.01.2008 FR 0800281 (71) Demandeur: Silios Technologies 13790 Peynier (FR)	(72) Inventeurs: TISSERAND, Stéphane F-13006 Marseille (FR) HUBERT, Marc F-13090 Aix en Provence (FR) ROUX, Laurent F-13013 Marseille (FR) (74) Mandataire: Renaud-Goud, Thierry  Renaud-Goud Conseil 5, rue de Montigny 13100 Aix-en-Provence 13100 Aix-en-Provence (FR)