(19)
(11) EP 2 235 491 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
06.10.2010  Patentblatt  2010/40

(21) Anmeldenummer: 08869465.8

(22) Anmeldetag:  22.12.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01L 9/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2008/068146
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/087055 (16.07.2009 Gazette  2009/29)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS

(30) Priorität: 09.01.2008 DE 102008003716

(71) Anmelder: CIS Forschungsinstitut Für Mikrosensorik Und Photovoltaik
99099 Erfurt (DE)

(72) Erfinder:
  • BROKMANN, Geert
    98693 Ilmenau (DE)

(74) Vertreter: Liedtke, Markus 
Liedtke & Partner Patentanwälte Elisabethstraße 10
99096 Erfurt
99096 Erfurt (DE)

   


(54) MIKROMECHANISCHER DRUCKSENSOR