(19)

(11)

EP 2 235 503 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 06.10.2010  Patentblatt  2010/40 (21) Anmeldenummer: 08862939.9 (22) Anmeldetag:  10.12.2008

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01N 21/47(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2008/010454 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2009/077110 (25.06.2009 Gazette  2009/26)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA MK RS (30) Priorität: 19.12.2007 DE 102007061213 (71) Anmelder: Carl Zeiss MicroImaging GmbH 07745 Jena (DE)	(72) Erfinder: CORRENS, Nico 99425 Weimar (DE) HOYME, Werner 99510 Gebstedt (DE) KERSTAN, Felix 07747 Jena (DE) KEUNE, Thomas 07745 Jena (DE) SCHEBESTA, Wilhelm 07749 Jena (DE) (74) Vertreter: Loritz, Rainer  Carl Zeiss AG Konzernfunktion Recht und Patente Patentabteilung Jena Carl-Zeiss-Promenade 10 07745 Jena 07745 Jena (DE)