(19)
(11) EP 2 235 758 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
24.09.2009

(43) Veröffentlichungstag:
06.10.2010  Patentblatt  2010/40

(21) Anmeldenummer: 08871574.3

(22) Anmeldetag:  15.12.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/18(2006.01)
H01L 31/0224(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2008/010639
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/092424 (30.07.2009 Gazette  2009/31)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS

(30) Priorität: 21.01.2008 DE 102008005398

(71) Anmelder:
  • Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
    80686 München (DE)
  • Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
    79085 Freiburg (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHULTZ-WITTMANN, Oliver
    79102 Freiburg (DE)
  • BENICK, Jan
    79106 Freiburg (DE)
  • HERMLE, Martin
    79102 Freiburg (DE)

(74) Vertreter: Lemcke, Brommer & Partner 
Patentanwälte Bismarckstrasse 16
76133 Karlsruhe
76133 Karlsruhe (DE)

   


(54) HALBLEITERSTRUKTUR UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERSTRUKTUR