(19)
(11) EP 2 237 898 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
13.10.2010  Patentblatt  2010/41

(21) Anmeldenummer: 10713555.0

(22) Anmeldetag:  19.02.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B05D 1/30(2006.01)
B05D 3/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/001063
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2010/094500 (26.08.2010 Gazette  2010/34)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 19.02.2009 DE 102009009650

(71) Anmelder: ATOTECH Deutschland GmbH
10553 Berlin (DE)

(72) Erfinder:
  • BRUDERER, Alex
    4057 Basel (CH)
  • HERBERT, Jürgen
    79539 Lörrach (DE)
  • HUNZIKER, Max
    3186 Düdingen (CH)
  • PROBST, Michel
    68170 Rixheim (FR)

(74) Vertreter: Banzer, Hans-Jörg et al
Kraus & Weisert Patent- und Rechtsanwälte Thomas-Wimmer-Ring 15
80539 München
80539 München (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM HERSTELLEN EINER KUNSTOFFSCHICHT