(19)
(11) EP 2 238 418 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
13.10.2010  Patentblatt  2010/41

(21) Anmeldenummer: 09707036.1

(22) Anmeldetag:  27.01.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01J 5/34(2006.01)
C23C 14/22(2006.01)
 H01L 37/02(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2009/000131
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/095004 (06.08.2009 Gazette  2009/32)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA RS

(30) Priorität: 28.01.2008 DE 102008007674

(71) Anmelder: Technische Universität Dresden
01069 Dresden (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHOSSIG, Marco
    01187 Dresden (DE)
  • NORKUS, Volkmar
    01705 Pesterwitz (DE)
  • GERLACH, Gerald
    01219 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Kailuweit & Uhlemann Patentanwälte 
Bamberger Straße 49
01187 Dresden
01187 Dresden (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON ABSORPTIONSSCHICHTEN AUF THERMISCHEN STRAHLUNGSSENSOREN