(19)
(11) EP 2 243 159 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
10.12.2009

(43) Veröffentlichungstag:
27.10.2010  Patentblatt  2010/43

(21) Anmeldenummer: 09709504.6

(22) Anmeldetag:  16.01.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 23/373(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2009/000050
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/100698 (20.08.2009 Gazette  2009/34)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA RS

(30) Priorität: 15.02.2008 DE 102008009510

(71) Anmelder: Danfoss Silicon Power GmbH
24837 Schleswig (DE)

(72) Erfinder:
  • EISELE, Ronald
    24229 Surend rf (DE)
  • KOCK, Mathias
    25557 Gockels (DE)

(74) Vertreter: Biehl, Christian 
Boehmert & Boehmert Anwaltssozietät Niemannsweg 133
24105 Kiel
24105 Kiel (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM NIEDERTEMPERATUR-DRUCKSINTERN