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(11) | EP 2 246 573 A3 |
| (12) | EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
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| (54) | Schutzvorrichtung für Hochvakuumpumpen |
| (57) Eine Schutzvorrichtung für Hochvakuumpumpen, insbesondere für Turbomolekularpumpen,
vor schädlichen, insbesondere vor kondensierbaren Gasen umfasst ein Rohrstück (13)mit
einem eine erste Öffnung (16) aufweisenden ersten Anschlussflansch (15) und einem
eine zweite Öffnung (18) aufweisenden zweiten Anschlussflansch (17). Die Anschlussflansche
(15,17) sind durch einen einen Durchgang (21) definierenden Rohrabschnitt miteinander
verbunden. Zwischen dem ersten und zweiten Anschlussflansch (17) ist ein eine dritte
Öffnung (20) aufweisenden dritter Anschlussflansch (19) vorgesehen. In einem Rohrabschnitt
mit erweiterten Querschnittsbereich (33) ist eine Mehrzahl von in Abstand voneinander
angeordneten Umlenkblechen (23) angeordnet.
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