(19)

(11)

EP 2 250 473 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 17.11.2010  Patentblatt  2010/46 (21) Anmeldenummer: 09716330.7 (22) Anmeldetag:  21.02.2009

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01J 3/28(2006.01) G01N 21/64(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2009/001263 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2009/109307 (11.09.2009 Gazette  2009/37)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA RS (30) Priorität: 05.03.2008 DE 102008012635 (71) Anmelder: Carl Zeiss MicroImaging GmbH 07745 Jena (DE)	(72) Erfinder: CORRENS, Nico 99425 Weimar (DE) (74) Vertreter: Loritz, Rainer  c/o Carl Zeiss AG Carl-Zeiss-Promenade 10 07745 Jena 07745 Jena (DE)