(19)

(11)

EP 2 250 663 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 17.12.2009 (43) Veröffentlichungstag: 17.11.2010  Patentblatt  2010/46 (21) Anmeldenummer: 09717120.1 (22) Anmeldetag:  04.03.2009

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/673(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2009/000326 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2009/109186 (11.09.2009 Gazette  2009/37)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA RS (30) Priorität: 06.03.2008 DE 102008012928 (71) Anmelder: Roth & Rau AG 09337 Hohenstein-Ernstthal (DE)	(72) Erfinder: WINDERLICH, Matthias 09337 Hohenstein-Ernstthal (DE) (74) Vertreter: Pätzelt, Peter  Pätzelt - Seltmann - Hofmann Patentanwälte Windmühlenstraße 44 i 01257 Dresden 01257 Dresden (DE)