(19)
(11) EP 2 255 390 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
01.12.2010  Patentblatt  2010/48

(21) Anmeldenummer: 09718901.3

(22) Anmeldetag:  12.03.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/0236(2006.01)
H01L 21/306(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/001784
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/112261 (17.09.2009 Gazette  2009/38)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA RS

(30) Priorität: 14.03.2008 DE 102008014166

(71) Anmelder: RENA GmbH
78148 Gütenbach (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHWECKENDIEK, Jürgen
    10967 Berlin (DE)
  • ELJAOUHARI, Ahmed, Abdelbar
    91077 Neunkirchen am Brand (DE)

(74) Vertreter: Gassner, Wolfgang et al
Dr. Gassner & Partner Patentanwälte Marie-Curie-Strasse 1
91052 Erlangen
91052 Erlangen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SILIZIUMOBERFLÄCHE MIT PYRAMIDALER TEXTUR