Domaine de l'invention
[0001] La présente invention concerne les transformateurs de signaux alternatifs à longueurs
d'ondes millimétriques, c'est-à-dire dont la fréquence est comprise entre environ
30 GHz et environ 300 GHz.
Exposé de l'art antérieur
[0002] La figure 1 représente le schéma électrique d'un transformateur 1. Aux bornes d'un
enroulement primaire 3 est appliqué un signal alternatif IN. Un enroulement secondaire
5, couplé à l'enroulement primaire 3, fournit à ses bornes un signal OUT de même fréquence
que le signal IN mais de tension V
OUT pouvant être supérieure ou inférieure à la tension V
IN du primaire. Le transformateur 1 est utilisé pour élever ou abaisser la tension V
IN du signal alternatif IN d'entrée, pour isoler l'un par rapport à l'autre deux circuits,
pour filtrer une éventuelle composante continue du signal IN ou pour adapter les impédances
entre différents composants d'un circuit. Le coefficient de transformation n du transformateur
1 fixe la valeur V
OUT de la tension de sortie selon la règle V
OUT = n*V
IN. Le coefficient n est lié à la valeur

, où Ls et Lp sont les inductances respectives des enroulements secondaire et primaire.
[0003] Certaines applications nécessitent des transformateurs aptes à traiter des signaux
de longueurs d'ondes millimétriques. On pourra par exemple citer de façon non limitative
les radars automobiles européens (80 GHz) et la diffusion de vidéo à haute définition
sur réseaux sans fil (60 GHz). Aux longueurs d'ondes millimétriques, les valeurs Ls
et Lp varient beaucoup avec la fréquence, notamment en raison de l'effet de peau et
de la faible épaisseur de peau dans laquelle un signal haute fréquence se propage
dans un conducteur (0,27 µm dans du cuivre à 60 GHz). Une autre difficulté réside
dans le fait que la fréquence de résonance du transformateur, c'est-à-dire la fréquence
à partir de laquelle le transformateur n'est plus opérationnel, diminue lorsque le
nombre de tours des enroulements augmente. En pratique, les transformateurs d'ondes
millimétriques ne peuvent pas avoir plus de deux tours par enroulement.
[0004] La figure 2A est une vue en perspective d'un transformateur d'ondes millimétriques
11. Le transformateur 11 comporte un enroulement primaire 13, constitué d'un tour
formé dans un niveau de métallisation M1, et un enroulement secondaire 15, constitué
de deux tours essentiellement formés dans un même niveau de métallisation M2 inférieur
au niveau M1. L'intersection entre les deux tours constituant l'enroulement secondaire
15 passe par un tronçon conducteur 17, formé dans un niveau de métallisation M3 inférieur
au niveau M2 et relié aux tours par des vias (non représentés). L'enroulement primaire
13 est disposé au dessus de l'enroulement secondaire 15, de façon que le diamètre
moyen (moyenne du diamètre extérieur et du diamètre intérieur) de l'enroulement primaire
coïncide avec le diamètre moyen de l'enroulement secondaire. De façon classique, dans
le domaine des circuits intégrés comprenant des éléments passifs, les enroulements
primaires et secondaires sont constitués de pistes conductrices de largeurs identiques
(par exemple 4 µm) formées dans des niveaux de métallisation successifs isolés les
uns des autres.
[0005] La figure 2B est une vue en coupe du transformateur 11 de la figure 2A selon un plan
schématisé par la ligne A de la figure 2A. L'enroulement primaire 13 et l'enroulement
secondaire 15 sont séparés par une couche isolante 19.
[0006] Un inconvénient des transformateurs de ce type réside dans les pertes d'insertion
élevées qu'ils introduisent, en raison notamment de la résistivité non négligeable
des enroulements.
[0007] En outre, le coefficient de transformation n du transformateur 11 est déterminé par
les inductances Lp et Ls des enroulements primaire et secondaire. Ces inductances
dépendent fortement de la fréquence de travail. Il serait souhaitable, à une fréquence
de travail donnée, de pouvoir augmenter le coefficient de transformation n, c'est-à-dire
augmenter le rapport entre les inductances Ls et Lp.
Résumé
[0008] Ainsi, un objet d'un mode de réalisation de la présente invention est de proposer
un transformateur d'ondes millimétriques palliant tous ou au moins certains des inconvénients
cités ci-dessus des solutions de l'art antérieur.
[0009] Un objet d'un mode de réalisation de la présente invention est de proposer un tel
transformateur présentant un fort coefficient de transformation.
[0010] Un objet d'un mode de réalisation de la présente invention est de proposer un tel
transformateur à faibles pertes d'insertion.
[0011] De façon générale, l'invention prévoit un transformateur d'ondes millimétriques dans
lequel la largeur de piste de l'enroulement primaire est supérieure à la largeur de
piste de l'enroulement secondaire.
[0012] Ainsi, un mode de réalisation de la présente invention prévoit un transformateur
d'ondes millimétriques comportant au primaire un tour constitué d'une piste conductrice
réalisée dans au moins un premier niveau de métallisation, et au secondaire un enroulement
en regard du tour primaire, comportant au moins un tour constitué d'une piste conductrice
réalisée dans au moins un second niveau de métallisation isolé dudit au moins un premier
niveau, la largeur de piste du tour primaire étant au moins égale à la largeur totale
de l'enroulement secondaire.
[0013] Selon un mode de réalisation de la présente invention, l'enroulement secondaire est
disposé en regard de la partie extérieure du tour primaire, de façon que le périmètre
extérieur de l'enroulement secondaire coïncide avec le périmètre extérieur du tour
primaire.
[0014] Selon un mode de réalisation de la présente invention, l'enroulement secondaire comporte
deux tours réalisés dans ledit au moins un second niveau de métallisation, l'intersection
entre ces deux tours étant réalisée dans un troisième niveau de métallisation isolé
du premier niveau.
[0015] Selon un mode de réalisation de la présente invention, les pistes conductrices sont
des pistes de cuivre.
[0016] Un mode de réalisation de la présente invention prévoit un procédé d'ajustement du
coefficient de transformation d'un transformateur d'ondes millimétriques comportant
au primaire un tour constitué d'une piste conductrice réalisée dans au moins un premier
niveau de métallisation, et au secondaire un enroulement en regard du tour primaire,
comportant au moins un tour constitué d'une piste conductrice réalisée dans au moins
un second niveau de métallisation isolé dudit au moins un premier niveau, la largeur
de piste du tour primaire étant supérieure à la largeur totale de l'enroulement secondaire,
ce procédé comportant une étape d'ajustement de la position de l'enroulement secondaire,
vers la partie extérieure du tour primaire pour augmenter ledit coefficient et vers
la partie intérieure du tour primaire pour diminuer ledit coefficient.
Brève description des dessins
[0017] Ces objets, caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres seront exposés en détail
dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non-limitatif
en relation avec les figures jointes parmi lesquelles :
la figure 1, précédemment décrite, représente le schéma électrique d'un transformateur
;
la figure 2A, précédemment décrite, est une vue en perspective d'un transformateur
d'ondes millimétriques ;
la figure 2B, précédemment décrite, est une vue en coupe du transformateur de la figure
2A ;
la figure 3A est une vue en perspective représentant un exemple de transformateur
d'ondes millimétriques selon un mode de réalisation de l'invention ;
la figure 3B est une vue en coupe du transformateur de la figure 3A ;
les figures 4A et 4B représentent les évolutions du coefficient de transformation
et des pertes d'insertion en fonction de la fréquence du signal d'entrée pour les
transformateurs des figures 2A et 3A ;
la figure 5A est une vue en perspective représentant un exemple de transformateur
d'ondes millimétriques selon un autre mode de réalisation de l'invention ;
la figure 5B est une vue en coupe du transformateur de la figure 5A ;
la figure 6A est une vue en perspective d'un exemple de transformateur d'ondes millimétriques
selon un autre mode de réalisation de l'invention ;
la figure 6B est une vue en coupe du transformateur de la figure 6A ; et
La figure 7 représente l'évolution du coefficient de transformation en fonction de
la fréquence du signal d'entrée pour les transformateurs des figures 5A et 6A.
Description détaillée
[0018] Par souci de clarté, de mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références aux
différentes figures et, de plus, comme cela est habituel dans la représentation des
circuits intégrés, les diverses figures ne sont pas tracées à l'échelle.
[0019] La figure 3A est une vue en perspective d'un transformateur d'ondes millimétriques
21. Le transformateur 21 comporte un enroulement primaire 23, constitué d'un tour
formé dans un niveau de métallisation M1, et un enroulement secondaire 25, constitué
de deux tours formés essentiellement dans un même niveau de métallisation M2 inférieur
au niveau M1. L'intersection entre les deux tours constituant l'enroulement secondaire
25 passe par un tronçon conducteur 27, formé dans un niveau de métallisation M3 inférieur
au niveau M2 et relié aux tours par des vias (non représentés). L'enroulement primaire
23 est disposé au dessus de l'enroulement secondaire 25, de façon que le diamètre
moyen (moyenne du diamètre externe et du diamètre interne) de l'enroulement primaire
coïncide avec le diamètre moyen de l'enroulement secondaire.
[0020] La figure 3B est une vue en coupe du transformateur 21 de la figure 3A selon un plan
schématisé par la ligne A de la figure 3A. Les pistes conductrices sont séparées les
unes des autres par un isolant 29.
[0021] Comme cela est illustré, la largeur de piste de l'enroulement primaire 23 est supérieure
à la largeur de piste de l'enroulement secondaire 25. Selon un mode de réalisation
illustré en figures 3A et 3B, la largeur de piste de l'enroulement primaire 23 est
supérieure à la largeur totale de l'enroulement secondaire 25, c'est-à-dire, dans
ce cas, deux fois la largeur de piste de l'enroulement secondaire plus la largeur
de l'isolant 29 compris entre le premier et le second tour de l'enroulement secondaire.
On pourra par exemple choisir une largeur de piste de 12 µm pour l'enroulement primaire
23, une largeur de piste de 4 µm pour l'enroulement secondaire 25, et une largeur
d'isolant 29 entre le premier et le second tour de l'enroulement secondaire de 1,5.
µm.
[0022] La figure 4A représente l'évolution du coefficient de transformation n des transformateurs
illustrés par les figures 2A-2B et 3A-3B, en fonction de la fréquence du signal d'entrée.
La courbe 31 correspond au cas du transformateur 11 des figures 2A et 2B, pour des
largeurs de piste des enroulements primaire et secondaire égales à 4 µm. La courbe
33 correspond au cas du transformateur 21 des figures 3A et 3B, pour des largeurs
de piste des enroulements primaire et secondaire respectivement égales à 12 µm et
4 µm.
[0023] La courbe 33 se situe nettement au dessus de la courbe 31 quelle que soit la fréquence
de travail considérée et notamment pour les signaux à longueur d'onde millimétrique.
Par exemple, à 60 GHz, le coefficient de transformation du transformateur 11 est égal
à 3,11 et celui du transformateur 21 est égal à 4,24.
[0024] La figure 4B représente l'évolution des pertes d'insertion des transformateurs 11
et 21, en fonction de la fréquence du signal d'entrée. La courbe 41 correspond au
cas du transformateur 11, pour des largeurs de piste des enroulements primaire et
secondaire égales à 4 µm. La courbe 43 correspond au cas du transformateur 21, pour
des largeurs de piste des enroulements primaire et secondaire respectivement égales
à 12 µm et 4 µm.
[0025] La courbe 43 se situe nettement au dessous de la courbe 41 quelle que soit la fréquence
de travail considérée et notamment pour les signaux à longueur d'onde millimétrique.
Par exemple, à 60 GHz, les pertes d'insertion du transformateur 11 sont de 1,33 dB
et celles du transformateur 21 sont de 1,01 dB.
[0026] On notera que l'augmentation de la largeur de piste de l'enroulement primaire n'est
bénéfique qu'en deçà d'un certain seuil. En effet, à partir d'une certaine largeur,
on observe une dégradation des performances du transformateur, et notamment une augmentation
des pertes d'insertion. Par exemple, si l'enroulement secondaire est composé de deux
tours de 4 µm de largeur de piste, séparées par 1,5 µm d'isolant, soit une largeur
totale de 9,5 µm, on veillera à ne pas augmenter la largeur de piste de l'enroulement
primaire au-delà de 24 µm.
[0027] Si la largeur de piste de l'enroulement primaire est supérieure à la largeur totale
de l'enroulement secondaire, différents positionnements de l'enroulement secondaire
en regard de l'enroulement primaire sont possibles.
[0028] Selon un aspect de l'invention, l'enroulement secondaire est positionné sous la partie
extérieure de l'enroulement primaire, de façon que son périmètre extérieur coïncide
avec le périmètre extérieur de l'enroulement primaire.
[0029] La figure 5A est une vue en perspective représentant un transformateur d'ondes millimétriques
51. Le transformateur 51 comporte un enroulement primaire 53, constitué d'un tour
formé dans un niveau de métallisation M1, et un enroulement secondaire 55, constitué
d'un tour formé dans un niveau de métallisation M2 inférieur au niveau M1. L'enroulement
primaire 53 est disposé en regard de l'enroulement secondaire 55, de façon que les
périmètres intérieurs des enroulements primaire et secondaire coïncident.
[0030] La figure 5B est une vue en coupe du transformateur 51 de la figure 5A selon un plan
schématisé par la ligne A de la figure 5A.
[0031] La figure 6A est une vue en perspective représentant un transformateur d'ondes millimétriques
61. Le transformateur 61 comporte un enroulement primaire 63, constitué d'un tour
formé dans un niveau de métallisation M1, et un enroulement secondaire 65, constitué
d'un tour formé dans un niveau de métallisation M2 inférieur au niveau M1. L'enroulement
primaire 63 est disposé en regard de l'enroulement secondaire 65, de façon que les
périmètres extérieurs des enroulements primaire et secondaire coïncident.
[0032] La figure 6B est une vue en coupe du transformateur 61 de la figure 6A selon un plan
schématisé par la ligne A de la figure 6A.
[0033] La figure 7 représente l'évolution du coefficient de transformation n des transformateurs
illustrés par les figures 5A-5B et 6A-6B, en fonction de la fréquence du signal d'entrée.
Les courbes 71 et 73 correspondent respectivement aux transformateurs 51 (figures
5A et 5B) et 61 (figures 6A et 6B), pour des largeurs de piste des enroulements primaire
et secondaire respectivement égales à 12 µm et 4 µm.
[0034] La courbe 73 se situe nettement au dessus de la courbe 71 quelle que soit la fréquence
de travail considérée et notamment pour les signaux à longueur d'onde millimétrique.
Par exemple, à 60 GHz, le coefficient de transformation du transformateur 51 est égal
à 1,16 et celui du transformateur 61 est égal à 1,28.
[0035] Les inventeurs ont déterminé que, pour un diamètre d'enroulement primaire donné,
le coefficient de transformation augmente linéairement avec le diamètre de l'enroulement
secondaire, lorsque ce dernier est compris dans la plage de valeurs pour lesquelles
les enroulements primaire et secondaire sont en regard l'un de l'autre.
[0036] Ainsi, pour renforcer le coefficient de transformation, on prévoit de disposer l'enroulement
secondaire sous la partie extérieure de l'enroulement primaire, de façon que les périmètres
extérieurs des enroulements coïncident, comme cela est illustré en figure 6A.
[0037] Selon un avantage de l'invention, il est possible d'ajuster finement le coefficient
de transformation aux besoins spécifiés en positionnant de façon adaptée l'enroulement
secondaire, vers l'intérieur ou vers l'extérieur de l'enroulement primaire.
[0038] Des modes de réalisation particuliers de la présente invention ont été décrits. Diverses
variantes et modifications apparaîtront à l'homme de l'art. En particulier, l'invention
ne se restreint pas aux exemples de transformateurs millimétriques exposés ci-dessus
dans lesquels les enroulements secondaires comportent un ou deux tours. L'homme de
l'art saura mettre en oeuvre l'invention quel que soit le nombre de tours de l'enroulement
secondaire (en pratique pas plus de deux tours pour des fréquences supérieures à 50
GHz). Par ailleurs, des valeurs numériques de largeur de piste ont été données à titre
d'exemple. L'invention ne se restreint pas à ces seuls cas particuliers. En outre,
l'utilisation de pistes conductrices en cuivre a été évoquée. L'invention ne se restreint
pas à ce seul cas particulier. L'homme de l'art saura mettre en oeuvre l'invention
quels que soient les matériaux employés pour la réalisation du transformateur. De
plus, on a mentionné dans la description de modes de réalisation de l'invention des
niveaux de métallisation inférieurs ou supérieurs à d'autres niveaux de métallisation,
notamment, on a décrit les enroulements primaires comme étant disposés au dessus des
enroulements secondaires. L'invention ne se restreint pas à ces cas particuliers.
L'ordre des niveaux de métallisation peut être inversé, et notamment, l'enroulement
secondaire peut être disposé au dessus de l'enroulement primaire.
1. Transformateur d'ondes millimétriques comportant au primaire un tour (23 ; 53 ; 63)
constitué d'une piste conductrice réalisée dans au moins un premier niveau de métallisation
(M1), et au secondaire un enroulement (25 ; 55 ; 65) en regard du tour primaire, cet
enroulement secondaire comportant au moins un tour constitué d'une piste conductrice
réalisée dans au moins un second niveau de métallisation (M2) isolé dudit au moins
un premier niveau, la largeur de piste du tour primaire étant supérieure à la largeur
de la piste d'enroulement secondaire et au moins égale à la largeur totale de l'enroulement
secondaire.
2. Transformateur selon la revendication 1, dans lequel l'enroulement secondaire (65)
est disposé en regard de la partie extérieure du tour primaire (63), de façon que
le périmètre extérieur de l'enroulement secondaire coïncide avec le périmètre extérieur
du tour primaire.
3. Transformateur selon la revendication 1 à 2, dans lequel l'enroulement secondaire
(25) comporte deux tours réalisés dans ledit au moins un second niveau de métallisation
(M2), l'intersection (27) entre ces deux tours étant réalisée dans un troisième niveau
de métallisation (M3) isolé du premier niveau (M1).
4. Transformateur selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel les pistes
conductrices sont des pistes de cuivre.
5. Procédé d'ajustement du coefficient de transformation d'un transformateur d'ondes
millimétriques comportant au primaire un tour constitué d'une piste conductrice réalisée
dans au moins un premier niveau de métallisation, et au secondaire un enroulement
en regard du tour primaire, comportant au moins un tour constitué d'une piste conductrice
réalisée dans au moins un second niveau de métallisation isolé dudit au moins un premier
niveau, la largeur de piste du tour primaire étant supérieure à la largeur totale
de l'enroulement secondaire, ce procédé comportant une étape d'ajustement de la position
de l'enroulement secondaire, vers la partie extérieure du tour primaire pour augmenter
ledit coefficient et vers la partie intérieure du tour primaire pour diminuer ledit
coefficient.