(19)

(11)

EP 2 257 656 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 08.12.2010  Patentblatt  2010/49 (21) Anmeldenummer: 09725646.5 (22) Anmeldetag:  25.03.2009

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 24/04(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2009/053504 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2009/118335 (01.10.2009 Gazette  2009/40)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA RS (30) Priorität: 28.03.2008 DE 102008016969 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: DOYE, Christian 13156 Berlin (DE) KRÜGER, Ursus 14089 Berlin (DE) PYRITZ, Uwe 13599 Berlin (DE) (74) Vertreter: Wolff, Harry  Siemens Aktiengesellschaft Postfach 22 16 34 80506 München 80506 München (DE)