(19)
(11) EP 2 257 822 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
08.12.2010  Patentblatt  2010/49

(21) Anmeldenummer: 09723766.3

(22) Anmeldetag:  25.03.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01P 15/08(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/053541
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/118355 (01.10.2009 Gazette  2009/40)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA RS

(30) Priorität: 27.03.2008 DE 102008016004

(71) Anmelder:
  • Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
    80686 München (DE)
  • SD Sensordynamics AG
    8403 Graz/Lebring (AT)

(72) Erfinder:
  • REINERT, Wolfgang
    24536 Neumünster (DE)
  • HELLER, Martin
    25524 Itzehoe (DE)

(74) Vertreter: Leonhard, Frank Reimund 
Leonhard - Olgemöller - Fricke Patentanwälte Postfach 10 09 62
80083 München
80083 München (DE)

   


(54) MIKROELEKTROMECHANISCHER INERTIALSENSOR MIT ATMOSPHAERISCHER BEDAEMPFUNG