(19)
(11) EP 2 263 253 A2

(12)

(88) Date de publication A3:
08.07.2010

(43) Date de publication:
22.12.2010  Bulletin  2010/51

(21) Numéro de dépôt: 09734307.3

(22) Date de dépôt:  30.03.2009
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/316(2006.01)
C01B 31/02(2006.01)
H01L 21/768(2006.01)
H01L 21/762(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2009/000369
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2009/130416 (29.10.2009 Gazette  2009/44)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Etats d'extension désignés:
AL BA RS

(30) Priorité: 08.04.2008 FR 0801921

(71) Demandeurs:
  • Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
    75015 Paris (FR)
  • STMicroelectronics (Crolles 2) SAS
    38920 Crolles (FR)

(72) Inventeurs:
  • COIFFIC, Jean-Christophe
    F-38000 Grenoble (FR)
  • RIVOIRE, Maurice
    F-38240 Meylan (FR)

(74) Mandataire: Talbot, Alexandre et al
Cabinet Hecké Europole 10, rue d'Arménie - BP 1537
FR-38025 Grenoble Cedex 1
FR-38025 Grenoble Cedex 1 (FR)

   


(54) PROCÉDÉ DE FORMATION DE MATÉRIAU POREUX DANS UNE MICROCAVITÉ OU UN MICROPASSAGE PAR POLISSAGE MÉCANO-CHIMIQUE