(19)

(11)

EP 2 263 253 A2

(12)

(88) Date de publication A3: 08.07.2010 (43) Date de publication: 22.12.2010  Bulletin  2010/51 (21) Numéro de dépôt: 09734307.3 (22) Date de dépôt:  30.03.2009

(51) Int. Cl.:  H01L 21/316(2006.01) C01B 31/02(2006.01) H01L 21/768(2006.01) H01L 21/762(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2009/000369 (87) Numéro de publication internationale: WO 2009/130416 (29.10.2009 Gazette  2009/44)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Etats d'extension désignés: AL BA RS (30) Priorité: 08.04.2008 FR 0801921 (71) Demandeurs: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 75015 Paris (FR) STMicroelectronics (Crolles 2) SAS 38920 Crolles (FR)	(72) Inventeurs: COIFFIC, Jean-Christophe F-38000 Grenoble (FR) RIVOIRE, Maurice F-38240 Meylan (FR) (74) Mandataire: Talbot, Alexandre et al Cabinet Hecké Europole 10, rue d'Arménie - BP 1537 FR-38025 Grenoble Cedex 1 FR-38025 Grenoble Cedex 1 (FR)