(19)
(11) EP 2 268 848 A1

(12)

(43) Date de publication:
05.01.2011  Bulletin  2011/01

(21) Numéro de dépôt: 09727119.1

(22) Date de dépôt:  16.03.2009
(51) Int. Cl.: 
C23C 16/30(2006.01)
C23C 16/40(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2009/000272
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2009/122036 (08.10.2009 Gazette  2009/41)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Etats d'extension désignés:
AL BA RS

(30) Priorité: 17.03.2008 FR 0801445

(71) Demandeur: Centre National de la Recherche Scientifique
75016 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • DANIELE, Stéphane
    F-69330 Meyzieu (FR)
  • ELETER, Mohamad
    F-69100 Villeurbanne (FR)
  • DUBOURDIEU, Catherine
    F-38000 Grenoble (FR)
  • BRIZE, Virginie
    F-38400 Saint Martin d'Heres (FR)

(74) Mandataire: Noel, Chantal Odile et al
Cabinet Orès 36, rue de St Pétersbourg
75008 Paris
75008 Paris (FR)

   


(54) PROCEDE D'ELABORATION D'UN FILM MINCE D'OXYDE OU DE SILICATE D'HAFNIUM NITRURE, COMPOSE DE COORDINATION UTILISE DANS CE PROCEDE ET PROCEDE DE REALISATION D'UN CIRCUIT ELECTRONIQUE INTEGRE