(19)
(11) EP 2 272 085 A2

(12)

(88) Date de publication A3:
10.12.2009

(43) Date de publication:
12.01.2011  Bulletin  2011/02

(21) Numéro de dépôt: 09729442.5

(22) Date de dépôt:  30.03.2009
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/288(2006.01)
C23C 18/38(2006.01)
 H01L 21/768(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2009/050524
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2009/125143 (15.10.2009 Gazette  2009/42)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Etats d'extension désignés:
AL BA RS

(30) Priorité: 28.03.2008 FR 0852045

(71) Demandeurs:
  • STMicroelectronics (Tours) SAS
    37100 Tours (FR)
  • Centre National de la Recherche Scientifique
    75794 Paris Cedex 16 (FR)

(72) Inventeurs:
  • BARRIERE, Clément
    F-31400 Toulouse (FR)
  • FAU, Pierre
    F-31400 Toulouse (FR)
  • CHAUDRET, Bruno
    F-31320 Vigoulet Auzil (FR)
  • MARGEAT, Olivier
    F-13008 Marseille (FR)

(74) Mandataire: de Beaumont, Michel 
1bis, rue Champollion
38000 Grenoble
38000 Grenoble (FR)

   


(54) PROCEDE DE FORMATION D'UNE COUCHE D'AMORCAGE DE DEPOT D'UN METAL SUR UN SUBSTRAT