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(11) | EP 2 273 632 A3 |
| (12) | DEMANDE DE BREVET EUROPEEN |
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| (54) | Bougie de génération de plasma à inductance intégrée |
| (57) Système de génération de plasma comportant: - un générateur, qui comporte un amplificateur en classe E, capable de faire résonner une structure L-C série à une fréquence supérieure à 1MHz avec une tension aux bornes du condensateur supérieure à 5kV ; - un résonateur série connecté en sortie du générateur et présentant un facteur de surtension compris entre 40 et 200 et présentant une fréquence de résonance supérieure à 1 MHz ; - et une tête de bougie comprenant deux électrodes séparées par un isolant, permettant de générer un plasma lors de l'application de l'excitation radiofréquence. |