(19)
(11) EP 2 279 282 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
02.02.2011  Patentblatt  2011/05

(21) Anmeldenummer: 09745632.1

(22) Anmeldetag:  07.04.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 4/18(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/054127
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/138299 (19.11.2009 Gazette  2009/47)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA RS

(30) Priorität: 15.05.2008 EP 08009023

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • HALBERSTADT, Knut
    45481 Mülheim an der Ruhr (DE)
  • SCHMITZ, Friedhelm
    46537 Dinslaken (DE)
  • SCHUMANN, Eckart
    45468 Mülheim an der Ruhr (DE)
  • STAMM, Werner
    45481 Mülheim an der Ruhr (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER OPTIMIERTEN HAFTVERMITTLERSCHICHT DURCH TEILWEISE VERDAMPFUNG DER HAFTVERMITTLERSCHICHT UND EIN SCHICHTSYSTEM