(19)

(11)

EP 2 283 168 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 16.02.2011  Patentblatt  2011/07 (21) Anmeldenummer: 09749502.2 (22) Anmeldetag:  15.05.2009

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 16/453(2006.01) C23C 16/18(2006.01) C03C 17/09(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2009/050025 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2009/140961 (26.11.2009 Gazette  2009/48)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA RS (30) Priorität: 23.05.2008 DE 102008025108 (71) Anmelder: Verein zur Förderung von Innovationen durch Forschung, Entwicklung und Technologietransfer e.V. (Verein INNOVENT e.V.) 07745 Jena (DE)	(72) Erfinder: STRUPPERT, Thomas 07747 Jena (DE) HEFT, Andreas 07545 Gera (DE) PFUCH, Andreas 99510 Apolda (DE) GRÜNLER, Bernd 07937 Zeulenroda (DE) JACOB, Alexander 08132 Mülsen (DE) LANG, Heinrich 09125 Chemnitz (DE) (74) Vertreter: Oehmke, Volker et al Patentanwälte Oehmke & Kollegen Neugasse 13 07743 Jena 07743 Jena (DE)