(19)
(11) EP 2 283 172 A1

(12)

(43) Date de publication:
16.02.2011  Bulletin  2011/07

(21) Numéro de dépôt: 09742298.4

(22) Date de dépôt:  10.04.2009
(51) Int. Cl.: 
C30B 31/04(2006.01)
C30B 33/02(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2009/050647
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2009/136100 (12.11.2009 Gazette  2009/46)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Etats d'extension désignés:
AL BA RS

(30) Priorité: 15.04.2008 FR 0852510

(71) Demandeurs:
  • Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
    75015 Paris (FR)
  • S.O.I.TEC Silicon on Insulator Technologies S.A.
    38190 Bernin (FR)

(72) Inventeurs:
  • TAUZIN, Aurélie
    F-38120 Saint Egreve (FR)
  • MOULET, Jean-Sébastien
    F-73000 Chambery (FR)

(74) Mandataire: Quantin, Bruno Marie Henri 
Santarelli 14 Avenue de la Grande Armée B.P. 237
75822 Paris Cedex 17
75822 Paris Cedex 17 (FR)

   


(54) PROCÉDÉ DE TRANSFERT D'UNE COUCHE MINCE PAR ÉCHANGE PROTONIQUE