(19)
(11) EP 2 285 919 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
23.02.2011  Patentblatt  2011/08

(21) Anmeldenummer: 09765628.4

(22) Anmeldetag:  19.06.2009
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C09D 11/00(2006.01)
H01L 31/0224(2006.01)
 H01L 21/3213(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2009/004424
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2009/153048 (23.12.2009 Gazette  2009/52)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA RS

(30) Priorität: 20.06.2008 DE 102008029107

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • MINGIRULLI, Nicola
    79110 Freiburg (DE)
  • BIRO,Daniel
    79106 Freiburg (DE)
  • SCHMIGA, Christian
    79100 Freiburg (DE)
  • SPECHT, Jan
    79106 Freiburg (DE)
  • STÜWE, David
    79102 Freiburg (DE)

(74) Vertreter: Lemcke, Brommer & Partner 
Patentanwälte Bismarckstrasse 16
76133 Karlsruhe
76133 Karlsruhe (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER METALLSTRUKTUR AUF EINER OBERFLÄCHE EINES HALBLEITERSUBSTRATES